RIC
Региональный информационный центр
научно-технологического сотрудничества с ЕС
 

Предложение о партнерстве для совместного участия в 7РП

Воронежский государственный технический университет - NMP.2010.4.0-2: Разработка научных основ для создания многопараметрических сенсоров на основе нанотехнологий

Вернуться назад
Дата заполнения 24.08.2009
Название организации Воронежский государственный технический университет
Адрес организации 394026, Россия, г. Воронеж, Московский пр-т, д.14
Подразделение/отдел Кафедра полупроводниковой электроники и наноэлектроники
Контактное лицо Рембеза Станислав Иванович, д.ф-м.н., профессор
Телефон +7-4732-437695
Факс +7-4732-463277
E-Mail vstu-ppe@mail.ru
rembeza@yandex.ru
Сайт http://www.vorstu.ru/
http://www.vorstu.ac.ru/kafedrry/ftf/kaf/pp
Тип организации
  • Научно-исследовательская
  • Образовательная
Специальная программа
Тематическое направление
Нанонауки, нанотехнологии, новые материалы и производственные процессы (NMP)
Идентификационный номер конкурса
FP7-NMP-2010-LARGE-4
FP7-NMP-2010-SMALL-4
Номер(а) тем(ы) и название NMP.2010.4.0-2: Разработка научных основ для создания многопараметрических сенсоров на основе нанотехнологий
Крайний срок подачи заявок 08.12.2009
Краткое описание Вашей организации ВГТУ образован 51 год назад как технический вуз с 7 факультетами, готовящий специалистов для разных областей промышленности (авиационной, радиотехнической, машиностроительной и т.д.) и имеющий тесные связи с предприятиями и НИИ. Кафедра ППЭ и НЭ физико-технического факультета существует 47 лет и готовит инженерные кадры для микроэлектронной промышленности, реализуя в производственных условиях собственные разработки в области проектирования и изготовления интегральных схем и оригинальных полупроводниковых приборов. Творческий коллектив, состоящий из 3 докторов наук, 7 кандидатов наук, 8 инженеров, аспирантов и магистров, за 12 лет работы в области сенсорики имеет 6 Патентов РФ на конструкцию, микроэлектронную технологию изготовления и составы сенсорных слоев датчиков токсичных и взрывоопасных газов. Опубликовано более 100 статей в научных журналах и трудах Международных конференций. Разработаны и испытаны опытные образцы датчиков контроля СО, СН4 и других углеводородов.
Краткое описание предложения о партнерстве Проект посвящен синтезу и исследованию наноструктурированных металлооксидных полупроводниковых газочувствительных материалов на основе SnO2. Исследуемые материалы послужат основой для создания портативной системы обнаружения токсичных и взрывоопасных газов в воздухе.
В качестве основного элемента системы контроля состава воздуха используется миниатюрный, экономичный, недорогой быстродействующий, высокочувствительный датчик газов, изготовленный по микроэлектронной технологии. Датчик представляет собой кристалл окисленного кремния (1х1 мм2), содержащий интегрированные тонкопленочные структуры нагревателя, термометра и газочувствительного слоя.
Основным элементом датчика является газочувствительный слой, изготавливаемый по тонкопленочной технологии реактивного магнетронного напыления и представляющий собой нанокомпозиты на основе SnO2 с добавками до (10-15) ат.% других оксидов (SiO2, MnO, Y2O3 и т.п.). Специальная технология и обработка пленок позволяют получить образцы с размерами кристаллов порядка (5-10) нм, отличающиеся высокой чувствительностью и селективностью к различным газам.
Портативная система индикации сигнала датчика газов будет изготовлена с использованием аналого-цифрового преобразования и программируемого микроконтроллера, обеспечивающих высокую достоверность и помехоустойчивость обрабатываемых сигналов. Все устройство может быть выполнено в виде одной интегральной схемы. Экономичное аккумуляторное питание, самокалибровка и соответствующая программа работы системы обеспечивают ее полную автономность.
На основе предлагаемой технологии могут быть разработаны также датчики температуры и влажности.
Ожидаемые результаты:
  • Синтез и исследование состава, морфологии, электрофизических и газочувствительных свойств пленок различных нанокомпозитов на основе SnO2 и других оксидов (Sn-Si-O, Sn-Mn-O и др.) для выбора сенсорного материала для детектирования токсичных и взрывоопасных газов.
  • Разработка конструкции, технологии производства, изготовление и исследование основных параметров тестовых структур и опытных образцов микроэлектронных датчиков газов, влажности и температуры.
  • Разработка конструкции, электронной схемы, изготовление и исследование параметров опытных образцов программируемых индикаторов сигналов многопараметрических датчиков.
Ключевые слова тонкие пленки нанотехнология нанокомпозиты микроэлектроника сенсоры газов сенсоры температуры и влажности цифровая индикация
Публикации по теме
  • Rembeza E.S., Richard O., Van Landuyt J. “Influence of laser and isothermal treatments on the microstructural properties of SnO2 films” - Materials Research Bulletin. - 1999. - V.34. – N 10/11. - P. 1527-1533.
  • Rembeza S.I., Svistova T.V., Rembeza E.S., Borsiakova O.I. “Electrical resistivity and gas response mechanism of nanocrystalline SnO2 films in a wide temperature range” - Physica Status Solidi (a).- 2000. - V.179. - P. 147-152.
  • Рембеза С.И., Свистова Т.В., Рембеза Е.С., Борсякова О.И.“Микроструктура и физические свойства тонких пленок SnO2” - Физика и техника полупроводников. – 2001. - Т.35, № 7. – С.796-799.
  • Рембеза С.И., Свистова Т.В., Рембеза Е.С., Горлова Г.В. “Полупроводниковый металлооксидный датчик газов” - Патент РФ № 2206082от 27.12.01.
  • Rembeza S.I., Rembeza E.S., Svistova T.V. “Electrophysical properties of gas sensitive films SnO2 doped with palladium” - Sensors & Transducers Journal. – 2004. - V.40, N 2. – P. 145-151.
  • Рембеза С.И., Буслов В.А., Рембеза Е.С., Викин О.Г., Викин Г.А. “Твердотельный интегральный датчик газов” - Патент РФ № 2257567 от 19.05.2004 г.
  • Рембеза С.И., Свистова Т.В., Рембеза Е.С., Борсякова О.И. «Физические свойства пленок SnO2, обработанных некогерентным импульсным излучением» - Физика и техника полупроводников. – 2006. - Т.40, № 1. – С.57-60.
  • Rembeza E.S., Rembeza S.I., Sinelnikov B.M., Svistova T.V., Domashevskaya E.P. “Thin film nanocomposites for gas sensors” - Journal of the Rare Metal Materials and Engineering. -2006. - V.35, suppl. 3. - P. 33-35.
  • Rembeza E.S., Rembeza S.I., Grechkina M.V., Domashevskaya E.P. “Preparation and properties of thin film nanocomposites Sn-Si-O, Sn-Mn-O, Sn-Y-O, Sn-Zr-O” - China Nano2007. Proc. Intern.Conf. on Nanosience and Technology, Beijing (China). - June 2007. - P.243.
  • Rembeza E.S., Rembeza S.I. “Nanocomposites Sn-Si-O and Sn-Mn-O for gas sensors“ - Sensors & Transducers Journal. - 2007. - V.85, N11. - P. 1739-1744.
  • Рембеза С.И., Свистова Т.В., Рембеза Е.С., Дырда Н.Н. «Способ изготовления чувствительного элемента датчиков газа» - Физика и техника полупроводников. – Патент РФ № 2307346, зарегистрирован 27.09.2007.
Описание предыдущего
и настоящего опыта участия
Вашей команды в европейских
или международных конкурсах/программах
2008-2009 совместный Российско-Китайский проект РФФИ-ГФЕН грант 07-02-92102 «Синтез и влияние структуры поверхности на газочувствительные свойства тонкопленочных нанокомпозитов на основе SnO2»
Есть ли у вас опыт участия
в проектах Рамочных программ ЕС?
Нет